三星申请半导体博鱼app器件制造专利提供了半导体器件和制造的方法

　　博鱼app专利摘要显示，提供了半导体器件和制造半导体器件的方法。所述制造半导体器件的方法包括：在衬底上形成掩模层博鱼app、第一分离层博鱼app、第一芯模层、第二分离层和第二芯模层；对第二芯模层进行图案化以形成第二芯模图案；在第二芯模图案上形成第一间隔物；去除第二芯模图案；对第二分离层和第一芯模层进行图案化以形成第一结构；在第一结构和第一分离层上形成第二间隔物层；各向异性地蚀刻第二间隔物层博鱼app博鱼app，以在第一结构上形成第二间隔物，并在第一结构上形成第一虚设图案和对准关键图案；以及在第一分离层上旋转涂布旋涂硬掩模层，其中，旋涂硬掩模层覆盖第一结构、第一虚设图案和对准关键图案博鱼app。