博鱼app专利摘要显示,本公开实施例公开了一种半导体结构的制备方法以及半导体结构博鱼app博鱼app博鱼app,其中,半导体结构的制备方法,包括:提供衬底,衬底包括阵列区和外围区;在阵列区上形成多个间隔排布的着陆垫结构,以及在外围区上形成第一导电层博鱼app,着陆垫结构的至少一侧形成有牺牲间隔层;其中,相邻两个着陆垫结构之间存在空隙;在着陆垫结构和第一导电层上形成介质层,其中,介质层覆盖空隙的开口;在外围区的介质层上形成第二导电层;去除阵列区的介质层,暴露空隙;去除牺牲间隔层博鱼app,以形成气隙。
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